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真空熱壓燒結爐的真空系統簡介
真空熱壓燒結爐的真空系統由KT-400油擴散泵一臺為主泵,RTO-300羅茨泵,2X-70型機械泵為粗抽泵做主泵的前級泵,還有冷阱。
主閥為GDQ-400氣動擋板閥一個,管道閥GDQ-150氣動擋板閥一個GDQ-80氣動擋板閥一個。電磁壓差閥及真空管道,組成該爐的真空系統。
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