如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
弧光室
产品型号:
根据客户图纸
产品展商:
ACHEMETAL
产品价格:
0.00 元
简单介绍
洛阳爱科麦难熔金属有限公司拥有车、铣、刨、磨、电加工、加工中心等各种设备，可按用户要求加工各种离子注入用钨零件和离子注入用钼零件（包含高温钼和TZM）。
我公司加工制作的离子注入用钨零件具有密度高，纯度高，尺寸精度好的特点。
弧光室的详细介绍
弧光室是离子注入机离子源的重要组件。不同粒子注入机厂家的弧光室有不同的形状和规格。我公司可根据客户图纸加工成型。由于我们生产加工弧光室所需的钨钼原材料，所以除弧光室尺寸精度外，产品性能可以得到保障。
根据不同厂家设计，弧光室可能由钨材质或钼材质制成。
离子注入是现代集成电路制造中的一种非常重要的技术，其利用离子注入机实现半导体的掺杂，即使用钨丝作为阴极发射电子轰击含有特定的杂质元素的气体分子，产生电离的特定杂质原子经静电场加速后打到硅单晶圆片表面，并打入半导体内部，改变导电特性并*终形成晶体管结构。
由于在离子源发生的电子转换为电浆离子时，会产生2000℃以上的工作温度，离子束喷发时，也会产生很大的离子动能，一般金属会很快烧熔，因此需要质量密度较大的惰性金属，以维持离子束喷发方向，并增加组件耐用度，钨钼是必选材料。由于钨钼材料高温化学性质稳定、热变形小和使用寿命长等优点，因此半导体行业离子注入机弧光反应腔零组件及耗件多采用钨、钼材料制造，这些器件包括发射电子阴极的屏蔽筒、发射面板、中心固定杆、起弧室内的丝极板等，我们统称为离子注入用钨零件和离子注入用钼零件。
离子注入用钨钼零件所用材料经过对传统钨钼材料工艺进行优化，包括细晶化、合金化处理，真空烧结和热等静压烧结致密化，二次晶粒细化控轧技术，普遍提高传统钨钼材料的寿命、耐高温及抗蠕变性能。
我公司生产的离子注入用钨钼零件晶粒度细化，相对密度≥99%，高温力学性能指标比普通钨钼材料明显提高，使用寿命也明显延长。
钨弧光室
钼弧光室
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