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产品名称:
发热体
产品型号:
直径500以下
产品展商:
ACHEMETAL
产品价格:
0.00 元
简单介绍
MOCVD机发热体可用纯钨或钨合金制作。
MOCVD机发热体的使用环境对材料的纯度、抗蠕变性能均有较高要求。
发热体的详细介绍
金属有机物化学气相淀积（简称MOCVD）是技术生长III-V族，II-VI族化合物及合金的薄层单晶的主要方法。用氢气或氮气作为载气，通入液体中携带出蒸汽，与V族的氢化物（如NH3、PH3、AsH3）混合，通入反应室，在加热的衬底表面发生反应，外延生长化合物晶体薄膜。
LED的发光核心是一种称为外延片（Epitaxial Slice）的复合材料，由于Mocvd技术在外延片上的成功运用，使得此种设备使用量迅速增加。
由于MOCVD设备工作时工作温度高于2000℃，钨钼也是该设备发热体等部分组件的**材料。
早期MOCVD设备发热体由铼或钨铼合金等材料制成，随着此种设备的普及，出于降低成本要求，纯钨及钨和一些稀土元素的合金材质制成的发热体逐步被用户接受。
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