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磁控溅射--靶材

真空镀膜-电阻式蒸发源

真空镀膜-电子束蒸发源

金属有机化学气相沉积（MOCVD）

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	发热体外环 直径550以下	MOCVD机发热体外环可用纯钨或钨合金制作。 MOCVD机发热体外环的使用环境对材料的纯度、抗蠕变性能均有较高要求。
	发热体 直径500以下	MOCVD机发热体可用纯钨或钨合金制作。 MOCVD机发热体的使用环境对材料的纯度、抗蠕变性能均有较高要求。

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